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致力于高端涂層技術(shù)的研究和推廣
致力于高端涂層技術(shù)的研究和推廣
一、dlc涂層類金剛石表面涂層技術(shù)是應(yīng)用于切割工具領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)。dlc涂層的工業(yè)化生產(chǎn)始于20世紀(jì)末。與模具上應(yīng)用的硬涂層相比，是一種新穎的涂層技術(shù)。在半導(dǎo)體封裝、管腳切割和成型制造過程中，高精度模具是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。模具表面的質(zhì)量決定了產(chǎn)品的優(yōu)良率、生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的電氣性能等。因此，應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝行業(yè)的模具不僅要求高精度，還要求模具刃口向表面低摩擦因數(shù)和高硬度方向發(fā)展，使用等離子體DLC涂裝技術(shù)的涂裝是這個問題的主要解決方案。
二、基本原理。dlc涂層處理使用物理氣相沉積技術(shù)PVD。在真空條件下(1.3x10-2－1.3x10-4Pa)采用低電壓、大電流的弧放電技術(shù)，利用氣體放電蒸發(fā)目標(biāo)物和蒸發(fā)物和氣體，利用電場的加速作用，使蒸發(fā)物及其反應(yīng)物沉積在工件上。
三、dlc涂層是微觀結(jié)構(gòu)中含有鉆石成分的涂層。構(gòu)成dlc涂層的主要要素是碳，碳原子之間的不同結(jié)合方式產(chǎn)生不同的物質(zhì):鉆石-碳以sp3鍵的形式結(jié)合的石墨一碳以sp2鍵的形式結(jié)合。dlc涂層一碳以sp3和sp2健的形式結(jié)合的涂層結(jié)構(gòu)是由碳的sp3和sp2形態(tài)混合而成的無定型組織(無顯性的結(jié)晶結(jié)構(gòu))，涂層性能的好壞取決于形成的膜結(jié)構(gòu)中sp3和sp2各的比例，sp3所占的比例越高，膜性能越接近天然鉆石，顯微硬度越高，sp2所占的比例越高，膜的自潤滑性能越好，摩擦因數(shù)越小，但顯微硬度越低(與金屬之間的摩擦因數(shù)范圍一般為0.05－O.2)通過設(shè)定生產(chǎn)流程中的工藝參數(shù)和選擇不同的標(biāo)的，可以控制成型膜層的屬性來滿足不同場合的需求。
那么今天的講解就先到這里了，以上就是今天的全部內(nèi)容，相信大家對dlc涂層相關(guān)知識也有了一定的認(rèn)識。非常感謝您的耐心閱讀。如還想了解更多關(guān)于dlc涂層的相關(guān)問題，您可以撥打左上角的服務(wù)熱線，與我們咨詢。
一、dlc涂層類金剛石表面涂層技術(shù)是應(yīng)用于切割工具領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)。dlc涂層的工業(yè)化生產(chǎn)始于20世紀(jì)末。與模具上應(yīng)用的硬涂層相比，是一種新穎的涂層技術(shù)。在半導(dǎo)體封裝、管腳切割和成型制造過程中，高精度模具是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。模具表面的質(zhì)量決定了產(chǎn)品的優(yōu)良率、生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的電氣性能等。因此，應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝行業(yè)的模具不僅要求高精度，還要求模具刃口向表面低摩擦因數(shù)和高硬度方向發(fā)展，使用等離子體DLC涂裝技術(shù)的涂裝是這個問題的主要解決方案。
二、基本原理。dlc涂層處理使用物理氣相沉積技術(shù)PVD。在真空條件下(1.3x10-2－1.3x10-4Pa)采用低電壓、大電流的弧放電技術(shù)，利用氣體放電蒸發(fā)目標(biāo)物和蒸發(fā)物和氣體，利用電場的加速作用，使蒸發(fā)物及其反應(yīng)物沉積在工件上。
三、dlc涂層是微觀結(jié)構(gòu)中含有鉆石成分的涂層。構(gòu)成dlc涂層的主要要素是碳，碳原子之間的不同結(jié)合方式產(chǎn)生不同的物質(zhì):鉆石-碳以sp3鍵的形式結(jié)合的石墨一碳以sp2鍵的形式結(jié)合。dlc涂層一碳以sp3和sp2健的形式結(jié)合的涂層結(jié)構(gòu)是由碳的sp3和sp2形態(tài)混合而成的無定型組織(無顯性的結(jié)晶結(jié)構(gòu))，涂層性能的好壞取決于形成的膜結(jié)構(gòu)中sp3和sp2各的比例，sp3所占的比例越高，膜性能越接近天然鉆石，顯微硬度越高，sp2所占的比例越高，膜的自潤滑性能越好，摩擦因數(shù)越小，但顯微硬度越低(與金屬之間的摩擦因數(shù)范圍一般為0.05－O.2)通過設(shè)定生產(chǎn)流程中的工藝參數(shù)和選擇不同的標(biāo)的，可以控制成型膜層的屬性來滿足不同場合的需求。
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