dlc涂層是一種無定形薄膜,由于其硬度高、彈性模量大、摩擦系數(shù)低、耐磨損、真空摩擦學(xué)性能好等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于摩擦涂層中,受到摩擦學(xué)界的重視。那dlc涂層都有哪些主要性能呢?
第一,力學(xué)性能。
1.硬度和彈性模量。不同沉積方法制備的dlc涂層的硬度和彈性模量差異很大。磁過濾陰極電弧可以制備硬度達(dá)到甚至超過金剛石的涂層。膜中的成分對(duì)膜中的硬度有一定的影響,Si和N的混合可以提高DLC薄膜的硬度。dlc涂層彈性模量高。雖然低于金剛石(110GPa),但明顯高于普通金屬和陶瓷的彈性模量。
2.內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度。膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響涂層性能的兩個(gè)重要因素。內(nèi)應(yīng)力高、結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜在應(yīng)用中容易出現(xiàn)裂紋、褶皺甚至脫落,因此制備的dlc涂層具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強(qiáng)度。大多數(shù)研究表明,直接沉積在基體上的DLC膜的膜/基結(jié)合強(qiáng)度一般較低。
第二,摩擦性能。dlc涂層不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且摩擦系數(shù)低于0.2,是一種優(yōu)異的表面耐磨改性薄膜。dlc涂層的摩擦系數(shù)隨著制備工藝和薄膜成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)可達(dá)不低于0.005。混合金屬元素可能會(huì)降低摩擦系數(shù),但加入H可以提高潤滑效果,環(huán)境對(duì)摩擦系數(shù)也有一定的影響。但總的來說,dlc涂層與傳統(tǒng)硬膜(如上述TiN、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢,這些傳統(tǒng)硬膜的摩擦系數(shù)在0.4以上。因此,dlc涂層可能會(huì)在許多摩擦領(lǐng)域取代這些傳統(tǒng)硬膜
第三,熱穩(wěn)定性。由于DLC是一種亞穩(wěn)態(tài)材料,熱穩(wěn)定性差是限制dlc涂層應(yīng)用的重要因素。300℃以上退火時(shí),sp3鍵轉(zhuǎn)向sp2鍵。因此,人們做了大量的工作,試圖提高其熱穩(wěn)定性。一些研究發(fā)現(xiàn),Si的添加可以明顯提高dlc涂層的熱穩(wěn)定性,含有20at%Si的DLC薄膜在740℃退火時(shí),sp3鍵轉(zhuǎn)向sp2鍵[15]。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的添加也可以提高DLC薄膜的熱穩(wěn)定性,我們正在研究這方面。
第四,耐腐蝕性。純DLC薄膜具有優(yōu)異的耐腐蝕性,各種酸、堿、王水都難以侵蝕。但是,與其他元素混合的DLC薄膜的耐腐蝕性下降是因?yàn)榛旌显厥紫缺磺治g,薄膜的連續(xù)性被破壞。
第五,表面狀態(tài)。DLC薄膜表面一般比較光滑,對(duì)基材表面光潔度影響不大,但隨著薄膜厚度的增加,表面光潔度會(huì)降低。DLC薄膜表面光潔度因沉積方法而異。
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