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致力于高端涂層技術(shù)的研究和推廣
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DLC是一種由碳元素組成的物質(zhì)，在性質(zhì)上類似于DIAMOND-LIKECRBON。DLC是一種非晶膜，因其硬度高、彈性模量大、摩擦因數(shù)低、耐磨性好、真空摩擦性好，非常適合作為耐磨涂層，引起了摩擦界的重視。目前制備DLC膜的方法很多，不同制備方法使用的碳源和到達基體表面的離子能量不同，沉積的DLC涂層結(jié)構(gòu)和性能差別很大，摩擦性能也不同。下面就來了解一下DLC涂層沉積設(shè)備的系統(tǒng)組成都有哪些？
一、熱水冷卻系統(tǒng)。在沉積室內(nèi)，加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)均布于沉積室四周，可控制加熱溫度、速度和水量，并設(shè)有相應(yīng)的報警器，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)設(shè)在沉積室底部，絕緣陶瓷絕緣，旋轉(zhuǎn)速度可控。
二、真空系統(tǒng)。本機由機械泵、羅茨泵、擴散泵及相應(yīng)的控制閥、測量元件組成，可根據(jù)工藝要求自由切換高、低真空。
三、供氣系統(tǒng)。煤氣供應(yīng)系統(tǒng)位于沉積室頂部，氣體種類包括H2、N2、Ar、CHa、C2H2、Si氣體，同時在沉積室頂部預(yù)留兩個通道接口，便于日后添加其它氣體。含有Si的過渡層是已確認的有利于DLC涂層與基體結(jié)合力的一種涂層，為得到Si，通常使用SiH4作為原料氣，但SiH4卻具有較高危險性，因此采用SiH4作為Si的含Si氣體源。
四、沉積靶系統(tǒng)。該裝置主要用于沉積DLC(類金剛石)，它所使用的電源是一個脈沖調(diào)制電源，每一個參數(shù)都可連續(xù)調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)不同的硬度和厚度，可以開發(fā)出不同硬度、不同厚度的DLC涂層，同時通過調(diào)整工件的裝卡方式，可形成多種“功能層+DLC”涂層。
五、電控系統(tǒng)。電控系統(tǒng)采用PLC全自動控制，包括上位機、PLC可編程序控制器、適配轉(zhuǎn)換器、控制電源、真空控制電源和測量系統(tǒng)、氣控電源、溫控系統(tǒng)、冷卻水檢測控制電源等。開爐前，在工藝編輯界面上編輯涂層工藝和存檔，開爐時可呼叫工藝要求，設(shè)備將自動運行，并進行實時檢測和監(jiān)控。如有問題設(shè)備會自動報警，根據(jù)警報等級設(shè)備選擇“等待”或直接停止，直到警報解除后繼續(xù)運行。各爐子的運行記錄和報警記錄自動存入計算機中方便查閱。按要求，可將設(shè)備改為全手工操作，涂布過程中在主操作界面調(diào)整各涂布參數(shù)。
那么今天的講解就先到這里了，以上就是今天的全部內(nèi)容，相信大家對DLC涂層沉積設(shè)備的系統(tǒng)組成也有了一定的認識。非常感謝您的耐心閱讀。如還想了解更多關(guān)于DLC涂層的相關(guān)問題，您可以撥打右上角的服務(wù)熱線，與我們咨詢。
DLC是一種由碳元素組成的物質(zhì)，在性質(zhì)上類似于DIAMOND-LIKECRBON。DLC是一種非晶膜，因其硬度高、彈性模量大、摩擦因數(shù)低、耐磨性好、真空摩擦性好，非常適合作為耐磨涂層，引起了摩擦界的重視。目前制備DLC膜的方法很多，不同制備方法使用的碳源和到達基體表面的離子能量不同，沉積的DLC涂層結(jié)構(gòu)和性能差別很大，摩擦性能也不同。下面就來了解一下DLC涂層沉積設(shè)備的系統(tǒng)組成都有哪些？
一、熱水冷卻系統(tǒng)。在沉積室內(nèi)，加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)均布于沉積室四周，可控制加熱溫度、速度和水量，并設(shè)有相應(yīng)的報警器，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)設(shè)在沉積室底部，絕緣陶瓷絕緣，旋轉(zhuǎn)速度可控。
二、真空系統(tǒng)。本機由機械泵、羅茨泵、擴散泵及相應(yīng)的控制閥、測量元件組成，可根據(jù)工藝要求自由切換高、低真空。
三、供氣系統(tǒng)。煤氣供應(yīng)系統(tǒng)位于沉積室頂部，氣體種類包括H2、N2、Ar、CHa、C2H2、Si氣體，同時在沉積室頂部預(yù)留兩個通道接口，便于日后添加其它氣體。含有Si的過渡層是已確認的有利于DLC涂層與基體結(jié)合力的一種涂層，為得到Si，通常使用SiH4作為原料氣，但SiH4卻具有較高危險性，因此采用SiH4作為Si的含Si氣體源。
四、沉積靶系統(tǒng)。該裝置主要用于沉積DLC(類金剛石)，它所使用的電源是一個脈沖調(diào)制電源，每一個參數(shù)都可連續(xù)調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)不同的硬度和厚度，可以開發(fā)出不同硬度、不同厚度的DLC涂層，同時通過調(diào)整工件的裝卡方式，可形成多種“功能層+DLC”涂層。
五、電控系統(tǒng)。電控系統(tǒng)采用PLC全自動控制，包括上位機、PLC可編程序控制器、適配轉(zhuǎn)換器、控制電源、真空控制電源和測量系統(tǒng)、氣控電源、溫控系統(tǒng)、冷卻水檢測控制電源等。開爐前，在工藝編輯界面上編輯涂層工藝和存檔，開爐時可呼叫工藝要求，設(shè)備將自動運行，并進行實時檢測和監(jiān)控。如有問題設(shè)備會自動報警，根據(jù)警報等級設(shè)備選擇“等待”或直接停止，直到警報解除后繼續(xù)運行。各爐子的運行記錄和報警記錄自動存入計算機中方便查閱。按要求，可將設(shè)備改為全手工操作，涂布過程中在主操作界面調(diào)整各涂布參數(shù)。
那么今天的講解就先到這里了，以上就是今天的全部內(nèi)容，相信大家對DLC涂層沉積設(shè)備的系統(tǒng)組成也有了一定的認識。非常感謝您的耐心閱讀。如還想了解更多關(guān)于DLC涂層的相關(guān)問題，您可以撥打右上角的服務(wù)熱線，與我們咨詢。