涂層包括有許多不一樣的涂層組分和生產(chǎn)工藝
DLC涂層加工的顯微結(jié)構(gòu),事實上,DLC涂層屬于一個涂層類型,其包括有許多不一樣的涂層組分和生產(chǎn)工藝。
在DLC涂層加工的諸多類型中,有種比較普遍的Me-DLC涂層,一直以來在產(chǎn)業(yè)行業(yè)有著普遍的使用。
Me-DLC涂層具備很低的內(nèi)應(yīng)力,為此,該種涂層具備非常好的涂層結(jié)協(xié)力。Me-DLC涂層中還可以加進各種元素,如Ti、Nb、Ta和B等,但現(xiàn)階段最常見的方式是加進鎢元素(W),產(chǎn)生W-DLC(還可以是W-C:H或是a-C:H:W)。因為與別的元素對比,W-DLC涂層具備相對較低的摩擦阻力(一般在0.1~0.2,干式),進而具備非常好地抗磨損特性,及其優(yōu)良的耐轉(zhuǎn)動接觸疲憊特性。
DLC類涂層之中最廣泛的是根據(jù)各種PA-CVD(等離子輔助CVD,通過射頻、微波或其他等離子激活方法)制備的含氫類DLC。含氫類DLC涂層具備相對高的顯微硬度(通常在2000~3000HV)和非常低的摩擦阻力(0.05~0.15,干式)。根據(jù)PA-CVD方法制備的含氫DLC涂層表面粗糙度極低。近期,它們早已變成汽車引擎零部件,如梃桿、活塞桿和各種柴油噴射系統(tǒng)零配件涂層的產(chǎn)業(yè)標準。
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