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CVD 和 ADLC 過程涂固定在涂層室的模具,含有一致,均勻的零件涂層,包括許多內(nèi)孔,而在 PVD 過程中,模具必須固定,為的是確保在所須表面的涂層均勻分布。在多數(shù)情況下,模具在涂層旋轉(zhuǎn)(從單轉(zhuǎn)到三倍旋轉(zhuǎn)),這樣是為了達到均勻的覆蓋面和厚度, PVD 涂層內(nèi)孔局限于開孔直徑深度。
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