在所有情況下,涂層增加了零件的厚度(等同于涂層厚度),鑒于材料性能,加工溫度決定零件形狀是否受到影響。 CVD 涂層加工溫度一般在 800 ℃ ~1000 ℃。特定材料在 CVD 涂層后將需要重新熱處理。 PVD 涂層的加工溫度一般在 250 ℃ ~600 ℃,大多數(shù)零件能保證原由的尺寸公差。在有些情況下, PVD 涂層在溫度低于 70 ℃的情況下,沉積避免損壞有塑料制成的零件。 PACVD 過(guò)程在溫度低于 700 ℃情況下進(jìn)行,因此尺寸精度和性能一般不會(huì)受影響。